| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
AUT-FST 5000 薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x
基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測(cè)量原理，采用激光掃描方式和探測(cè)技術(shù)，以及智能化的操作，使得AUT-FST5000薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、翹曲、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測(cè)量和計(jì)算.
規(guī)格 | 參數(shù) |
基本原理 | 激光曲率法 基于Stoney公式 |
主要方法 | 采用雙波長(zhǎng)激光對(duì)樣品進(jìn)行掃描測(cè)量 635 nm/670 nm 波長(zhǎng)/ ≤5mW |
主要功能 | 自動(dòng)測(cè)量晶圓樣品輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應(yīng)力 |
薄膜應(yīng)力測(cè)試范圍 | 1- 10000 MPa |
曲率半徑測(cè)試范圍 | 2- 20000 m |
曲率半徑重復(fù)精度 | ≤±1 % @1σ（曲率半徑≤20 m） ≤±2.5 % @1σ （曲率半徑 ≤ 200 m） |
掃描步長(zhǎng) | 0.1 mm |
樣品尺寸 | 子型號(hào)M6-標(biāo)配6 英寸，向下兼容4、3、2 英寸子型號(hào)M8-標(biāo)配8 英寸，向下兼容6、4、2 英寸 子型號(hào)M12-標(biāo)配12英寸，向下兼容8、6、4 英寸 |
樣品臺(tái) | 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)+水平位移樣品臺(tái) |
樣品基片校正 | 可數(shù)據(jù)處理校正原始表面不平影響（對(duì)減模式） |
電源 | 110-220 VAC & 200 Watts Maximum |
通訊連接端口 | USB 3.0 |
工作溫度 | 室溫 |
操作軟件 | 可視化2D/3D顯示晶圓輪廓形貌、弓高、翹曲度、曲率半徑和薄膜應(yīng)力分布；一鍵自動(dòng)生成檢測(cè)報(bào)告；視窗界面/適用于Windows 10 系統(tǒng) |
操作電腦 | 標(biāo)配品牌臺(tái)式一體機(jī)： 顯示器：≥21英寸，≥8 G內(nèi)存，CPU ≥ 2.5 GHz，≥512 G硬盤 |
外形尺寸 | ～850 寬×550深×450 高 mm |
重量 | ~ 35 K g |
質(zhì)量保證 | 一年免費(fèi)/終身維護(hù) |
備注 | 以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請(qǐng)聯(lián)系我們 |
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