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213nm深紫外單縱模激光器

簡要描述：213nm深紫外單縱模激光器，，適用于光學計量、213納米光學系統校準或高功率ArF準分子激光器帶寬控制等應用。

  • 產品型號：
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-12-05
  • 訪  問  量：68
詳細介紹
品牌昊量光電產地類別進口
應用領域綜合

213nm深紫外單縱模激光器：

德國xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器和非線性光學器件的專家。可以開發和制造幾乎任何所需波長的可靠激光系統，擁有20多年的激光器研發經驗，重點開發深紫外和紫外激光器。        

       IXION SLM 213是一款單縱模全固態激光系統，適用于光學計量、213納米光學系統校準或高功率ArF準分子激光器帶寬控制等應用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該激光器在M2< 1.6的衍射受限光束中提供持續時間為6 - 8ns的短輸出脈沖，重復頻率在1至15 kHz之間。在213nm處，平均輸出功率高達100mw，具有超穩定的脈沖走線和超過1.5 m的高相干長度，這是傳統激光器無法實現的。



       

213nm深紫外單縱模激光器參數：

Wavelength/波長

213 nm

Average power/平均功率

100mW

Pulse duration/脈寬

typ 6-8 ns

Energy per pulse/單脈沖能量

10µJ

Repetition rate/重復頻率

1-15 kHz

beam quality/光斑質量

M2 < 1.6

Spectral bandwith/譜寬

< 100 MHz

深紫外單縱模激光器產品特點：

光譜帶寬


光斑質量



深紫外單縱模激光器產品應用：

  • 光譜儀校準

  • 光刻

  • 干涉測量

  • 晶圓檢測

  • 全息測量

  • 光致發光


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