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  • 4D位置敏感探測器(4D PSD)
    4D位置敏感探測器(4D PSD)
    4D位置敏感探測器(4D PSD)分辨率達到納米級別的4D PSD可獨立探測區分光束位置漂移和角度漂移。 此4D PSD位敏探測器,采用兩個2D PSD探測器與相關光學元件的有機組合,能夠嚴格探測區分光束的位置漂移與角度漂移,分辨率達到nm級別。
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